微機電系統(tǒng)(MEMS)技術―MEMS結構共振疲勞試驗方法

主要起草單位：北京大學 、中機生產(chǎn)力促進中心 、北京智芯傳感科技有限公司 、沈陽國儀檢測技術有限公司 、浙江博亞精密機械有限公司 、中北大學 、北京必創(chuàng)科技股份有限公司 。

主要起草人：張威 、張亞婷 、于振毅 、陸學貴 、朱悅 、石云波 、李海斌 、程逸軒 、周浩楠 、陳得民 。 2100433B

2020年3月6日，《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術―MEMS結構共振疲勞試驗方法》發(fā)布。

2020年7月1日，《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術―MEMS結構共振疲勞試驗方法》實施。

2020年3月6日，《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術—MEMS結構共振疲勞試驗方法》發(fā)布。

2020年7月1日，《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術—MEMS結構共振疲勞試驗方法》實施。

主要起草單位：北京大學、北京智芯傳感科技有限公司、浙江博亞精密機械有限公司、北京必創(chuàng)科技股份有限公司、中機生產(chǎn)力促進中心、沈陽國儀檢測技術有限公司、中北大學。

主要起草人：張威、張亞婷、朱悅、石云波、周浩楠、陳得民、于振毅、陸學貴、李海斌、程逸軒。 2100433B

微機電系統(tǒng)（MEMS）設計和原型設計指南 無論你是正在學習初級MEMS課程的學生，還是想要在MEMS設計上進步飛速的設計師，這些實用指導都可以提供開展MEMS器件設計、制造和測試所需要的實操經(jīng)驗。你可以了解到如何使用代工廠多工程制造工藝進行低成本MEMS工程設計，以及如何使用計算機輔助設計工具（布局、建模）進行MEMS器件的設計。

在本書中描述和分析了大量的設計案例，涉及領域包括微觀力學、電磁學、光學、熱學和流體學等。其中有一章專門介紹MEMS器件的封裝和測試；此外，在本書每章的最后，都描述了 MEMS設計的實踐和挑戰(zhàn)，并提供了相關的解決方案。 Joel A. Kubby是加州大學圣克魯茲分校巴斯金工程學院的電子工程教授。此前，他曾經(jīng)是施樂威爾遜研發(fā)中心的區(qū)域經(jīng)理，也是紐約韋伯斯特的技術人員之一。他曾經(jīng)帶領一個由6 個企業(yè)聯(lián)合而成的工業(yè)研究組織進行光學MEMS的新工藝開發(fā)，該項目屬于國家標準和技術研究所的高端技術計劃（ATP），Joel A. Kubby本人擁有超過80項專利。