微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)—MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法編制進(jìn)程

2020年3月6日，《微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)—MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法》發(fā)布。

2020年7月1日，《微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)—MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法》實(shí)施。

主要起草單位：北京大學(xué)、北京智芯傳感科技有限公司、浙江博亞精密機(jī)械有限公司、北京必創(chuàng)科技股份有限公司、中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心、沈陽國儀檢測技術(shù)有限公司、中北大學(xué)。

主要起草人：張威、張亞婷、朱悅、石云波、周浩楠、陳得民、于振毅、陸學(xué)貴、李海斌、程逸軒。 2100433B

2020年3月6日，《微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)―MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法》發(fā)布。

2020年7月1日，《微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)―MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法》實(shí)施。

主要起草單位：北京大學(xué) 、中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心 、北京智芯傳感科技有限公司 、沈陽國儀檢測技術(shù)有限公司 、浙江博亞精密機(jī)械有限公司 、中北大學(xué) 、北京必創(chuàng)科技股份有限公司 。

主要起草人：張威 、張亞婷 、于振毅 、陸學(xué)貴 、朱悅 、石云波 、李海斌 、程逸軒 、周浩楠 、陳得民 。 2100433B

微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）設(shè)計(jì)和原型設(shè)計(jì)指南 無論你是正在學(xué)習(xí)初級MEMS課程的學(xué)生，還是想要在MEMS設(shè)計(jì)上進(jìn)步飛速的設(shè)計(jì)師，這些實(shí)用指導(dǎo)都可以提供開展MEMS器件設(shè)計(jì)、制造和測試所需要的實(shí)操經(jīng)驗(yàn)。你可以了解到如何使用代工廠多工程制造工藝進(jìn)行低成本MEMS工程設(shè)計(jì)，以及如何使用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)工具（布局、建模）進(jìn)行MEMS器件的設(shè)計(jì)。

在本書中描述和分析了大量的設(shè)計(jì)案例，涉及領(lǐng)域包括微觀力學(xué)、電磁學(xué)、光學(xué)、熱學(xué)和流體學(xué)等。其中有一章專門介紹MEMS器件的封裝和測試；此外，在本書每章的最后，都描述了 MEMS設(shè)計(jì)的實(shí)踐和挑戰(zhàn)，并提供了相關(guān)的解決方案。 Joel A. Kubby是加州大學(xué)圣克魯茲分校巴斯金工程學(xué)院的電子工程教授。此前，他曾經(jīng)是施樂威爾遜研發(fā)中心的區(qū)域經(jīng)理，也是紐約韋伯斯特的技術(shù)人員之一。他曾經(jīng)帶領(lǐng)一個(gè)由6 個(gè)企業(yè)聯(lián)合而成的工業(yè)研究組織進(jìn)行光學(xué)MEMS的新工藝開發(fā)，該項(xiàng)目屬于國家標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)研究所的高端技術(shù)計(jì)劃（ATP），Joel A. Kubby本人擁有超過80項(xiàng)專利。