真空技術渦輪分子泵起草單位

北京中科科儀技術發(fā)展有限公司、北京北儀創(chuàng)新真空技術有限公司等。2100433B

張勤德、鄒蒙等。

渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子（即動葉輪）、靜葉輪和驅動系統(tǒng)等組成。

渦輪分子泵的優(yōu)點是激活快﹐能抗各種射線的照射﹐耐大氣沖擊﹐無氣體存儲和解吸效應﹐無油蒸氣污染或污染很少﹐能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器﹑可控熱核反應裝置﹑重粒子加速器和高級電子器件制造等方面。 結構和工作原理 1958年﹐聯邦德國的W.貝克首次提出有實用價值的渦輪分子泵﹐以后相繼出現了各種不同結構的分子泵﹐主要有立式和臥式兩種﹐圖1 立式渦輪分子泵的結構圖 為立式渦輪分子泵的結構圖。渦輪分子泵主要由泵體﹑帶葉片的轉子(即動葉輪)﹑靜葉輪和驅動系統(tǒng)等組成。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(一般為150～400米/秒)。單個葉輪的壓縮比很小﹐渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動﹑靜葉輪幾何尺寸基本相同﹐但葉片傾斜角相反。圖2 渦輪分子泵的靜葉輪和動葉輪 為20個動葉輪組成的整體式轉子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動﹑靜葉輪間保持1毫米左右的間隙﹐動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉。

圖3 動葉片的工作示意圖 為一個動葉片的工作示意圖。在運動葉片兩側的氣體分子呈漫散射。在葉輪左側(圖3a 動葉片的工作示意圖 )﹐當氣體分子到達A 點附近時﹐在角度 1內反射的氣體分子回到左側﹔在角度 1內反射的氣體分子一部分回到左側﹐另一部分穿過葉片到達右側﹔在角度 1內反射的氣體分子將直接穿過葉片到達右側。同理﹐在葉輪右側(圖3b 動葉片的工作示意圖 )﹐當氣體分子入射到B 點附近時﹐在 2角度內反射的氣體分子將返回右側﹔在 2角度內反射的氣體分子一部分到達左側﹐另一部分返回右側﹔在 2角度內反射的氣體分子穿過葉片到達左側。傾斜葉片的運動使氣體分子從左側穿過葉片到達右側﹐比從右側穿過葉片到達左側的幾率大得多。葉輪連續(xù)旋轉﹐氣體分子便不斷地由左側流向右側﹐從而產生抽氣作用。

性能和特點 泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數和轉速有關外﹐還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮(或空氣)的壓縮比為108～109﹔對氫為102～104﹔對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。泵的極限壓力為10-9帕﹐工作壓力范圍為10-1～10-8帕﹐抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1升=10-3米3)。渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)(氣體分子的平均自由程遠大于導管截面最大尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的優(yōu)越性﹐因此要求配有工作壓力為1～10-2帕的前級真空泵。分子泵本身由轉速為10000～60000轉/分的中頻電動機直聯驅動。

渦輪分子泵性能

泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數和轉速有關外，還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮（或空氣）的壓縮比為10⁸～10⁹；對氫為10²～10⁴；對分子量大的氣體如油蒸氣則大于10¹⁰。

泵的極限壓力為10^-9Pa，工作壓力范圍為10^-1～10^-8Pa，抽氣速率為幾十到幾千升每秒（1L=10^-3m³）。

渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)（氣體分子的平均自由程遠大于導管截面最大尺寸的流態(tài)）下工作才能顯示出它的優(yōu)越性，因此要求配有工作壓力為1～10^-2Pa的前級真空泵。

分子泵本身由轉速為10000～60000轉/分的中頻電動機直聯驅動。

渦輪分子泵特點

抽速大、無油、啟動快、無油污染、維護簡單

工作范圍：清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空

極限真空：10^-6/ 10^-10torr

缺點：結構復雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高